Das Unternehmen wurde 1968 als Wacker-Chemitronic GmbH in Burghausen gegründet und 1994 in die Wacker Siltronic GmbH umfirmiert. Die Umfirmierung in eine Aktiengesellschaft (Wacker Siltronic AG) erfolgte 1996. 2004 fand die Umfirmierung in die Siltronic AG statt.
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